 
|
24-Station Spin Coater Barrier Coating.
Thông tin chi tiết sản phẩm:
| Nguồn gốc: | Trung Quốc |
| Hàng hiệu: | OSMANUV |
| Chứng nhận: | ISO9001 |
| Số mô hình: | Đặc điểm kỹ thuật |
Thanh toán:
| Số lượng đặt hàng tối thiểu: | 1 bộ |
|---|---|
| Giá bán: | Có thể thương lượng |
| chi tiết đóng gói: | Bao bì gỗ |
| Thời gian giao hàng: | 30-45 ngày |
| Điều khoản thanh toán: | T/T |
| Khả năng cung cấp: | đàm phán |
|
Thông tin chi tiết |
|||
| Thương hiệu biến tần: | Schneider | đóng gói: | Vỏ gỗ tiêu chuẩn |
|---|---|---|---|
| Phương pháp cho ăn: | Đáy, bên tùy chọn | Trạm làm việc: | 24 |
| Chiều rộng sản phẩm tối đa: | 500mm | Phiên bản: | 2.0 |
| Kích thước: | Theo yêu cầu của khách hàng | Thương hiệu tần số: | Shilin hoặc Schneider |
Mô tả sản phẩm
24-Station Spin Coater Barrier Coating.
Cái này.Lớp phủ hàng rào lớp phủ xoắn 24 trạmđược xây dựng để tạo thànhLớp cách ly hoặc vĩnh viễntrên chất nền trước lớp phủ chính (photoresist, polyimide hoặc dielectric). Nó ngăn ngừa nhiễm trùng chéo, làm giảm sự hình thành hạt cạnh và bảo vệ các chuck quay khỏi sự tấn công của dung môi.Nội dung rắn có thể tùy chỉnh, hệ thống dung môi và phương pháp tẩycó sẵn cho các kích thước wafer khác nhau (2 ′′-12 ′′) và các lớp thiết bị.
Các thông số kỹ thuật
| Parameter | Giá trị / Phạm vi |
|---|---|
| Nội dung rắn | 2% - 25% (có thể tùy chỉnh) |
| Độ nhớt (cP @ 25°C) | 3 - 150 (có thể điều chỉnh) |
| Mật độ (g/cm3) | 0.85 - 1.10 |
| Phạm vi tốc độ quay | 500 - 6000 rpm (24 trạm đồng bộ hóa) |
| Độ dày phim (sau khi quay) | 0.1 - 5,0 μm (có thể điều chỉnh) |
| Nhiệt độ sấy | 80 - 200°C (bếp hoặc lò nướng) |
| Thời gian sấy | 30 - 180 giây |
| Hàm lượng ion kim loại (Na, K, Fe) | < 10 ppb mỗi loại (chất tinh khiết cao) |
| Số lượng hạt (≥ 0,2 μm) | < 30 / mL |
| Phương pháp cắt bỏ | Dải dung môi (NMP, PGMEA) hoặc phân hủy nhiệt |
Ứng dụng
- Xử lý wafer bán dẫn(trước và sau)
- Sản xuất MEMS & cảm biến
- Lớp phủ xoắn của bán dẫn hợp chất (GaN, SiC)
- Phosphor LED và lớp bảo vệ
- R & D lớp phủ xoắn với khả năng 24 vị trí
- Các chất nền tùy chỉnh(phong liệu thủy tinh, saphir, kim loại, polymer)
Tùy chỉnh
Chúng tôi cung cấp tùy chỉnh đầy đủ cho các bộ sơn quay 24 trạm:
- Hệ thống dung môi(PGMEA, cyclohexanone, anisole, dựa trên nước)
- Phương pháp cắt bỏ(dải ướt, đổ tro, hoặc để lại vĩnh viễn)
- Hiệu ứng giảm hạt cạnh(được tùy chỉnh góc tiếp xúc lùi)
- Khả năng tương thích kích thước wafer(2", 4", 6", 8", 12")
- Số lượng lôtừ 500mL (R&D) đến 20L (sản xuất)
- Hạt kim loại thấp và hạt thấpCác lớp có sẵn theo thông số kỹ thuật của khách hàng
Đặc điểm
- ✅ Ngăn ngừa chống nhiễm trùng trên chuck xoay và cốc nắp
- ✅ Giảm chiều cao của hạt cạnh 60-80%
- ✅ Tương thích với hệ thống phân phối tự động & EBR
- ✅ Không còn dư lượng sau khi phủ sau khi tháo bỏ đúng cách
- ✅ Đứng vững nhiệt lên đến 200 °C (không có khí thải)
- ✅ mật độ khiếm khuyết thấp (<0,05 khiếm khuyết / cm2)
- ✅ Có thể được sử dụng nhưlớp hy sinhcho các quy trình nâng máy
Hỗ trợ và Dịch vụ
- Tối ưu hóa quy trìnhĐối với bộ phủ quay 24 trạm của bạn (tốc độ / tăng tốc / tăng tốc)
- Xét nghiệm dư lượng tự dotrên loại wafer của bạn
- Hỗ trợ lắp đặt tại chỗ hoặc từ xa
- Phát triển công thức tùy chỉnhTrong vòng 15 ngày làm việc
- Bảng thông tin an toàn vật liệu (SDS)+ hướng dẫn chế biến
- Hỗ trợ kỹ thuật 24/7cho các dây chuyền sản xuất
Bao bì và vận chuyển
- Bao bì tiêu chuẩn: chai HDPE 1L, 4L, 20L (với túi hai)
- Bao bì tùy chỉnh: 200L trống, 1000L IBC, hoặc hộp phun kín để phân phối tự động
- Hàng hải: Được đóng gói trong phòng sạch, lớp 3 dễ cháy (nếu dựa trên dung môi) hoặc không nguy hiểm (dựa trên nước)
- Thời gian dẫn đầu: 5 ngày cho hàng tồn kho, 12-18 ngày cho các lô tùy chỉnh
- Lưu trữ: 6-12 tháng @15-25°C trong thùng chứa kín ban đầu
Câu hỏi thường gặp
Q1: Có thể sử dụng lớp phủ rào cản này trên tất cả các lớp phủ quay 24 trạm không?
A: Vâng.có thể tùy chỉnhcho các loại vòi phun khác nhau (chất tĩnh, quét tuyến tính hoặc phun) và thiết kế chuck xoay (chất chân không hoặc cơ học).
Q2: Nó vĩnh viễn hay có thể tháo rời?
A: Cả hai.có thể tháo rờiPhiên bản vĩnh viễn có sẵn cho các ứng dụng lớp bảo vệ.
Q3: Nó sẽ ảnh hưởng đến độ dính quang kháng?
A: Không. lớp phủ rào cản được thiết kế để loại bỏ hoàn toàn hoặc để phù hợp với năng lượng bề mặt.
Muốn biết thêm chi tiết về sản phẩm này
