|
|
Thông tin chi tiết sản phẩm:
|
| Điện áp: | 220V/380V | Tốc độ băng tải: | 25 ~ 80m/phút |
|---|---|---|---|
| Công suất động cơ chính: | 1,5kw | Chiều rộng san lấp mặt bằng hiệu quả: | 920mm |
| Vật liệu phủ: | Vật liệu khác nhau | loại đèn UV: | Đèn thủy ngân |
| Tua lại lỗi gấp: | ± 0,1mm | Loại sấy: | Sấy hồng ngoại |
| Làm nổi bật: | Hệ thống xử lý laser excimer công nghiệp,Dòng sản xuất laser excimer linh hoạt,Các thông số máy sơn UV có thể tùy chỉnh |
||
Hệ thống xử lý laser excimer công nghiệp này được thiết kế để chế tạo vi mô chính xác cao, ủ bán dẫn và tạo mẫu màng mỏng.Nó hỗ trợ tích hợp đầy đủ vào dây chuyền sản xuất tự động với giám sát thời gian thựcHệ thống có nguồn excimer kín khí với quang học tuổi thọ dài và điều khiển quy trình được hỗ trợ bởi AI.
| Parameter | Phạm vi giá trị (Tiêu chuẩn) | Tùy chọn tùy chỉnh |
|---|---|---|
| Độ dài sóng | 193 nm / 248 nm / 308 nm | Có thể chuyển đổi nhiều bước sóng (cách tùy chỉnh) |
| Năng lượng xung tối đa | 0.5 - 1200 mJ | Tối đa 2000 mJ (cách chỉnh) |
| Tần số xung | 1 - 6000 Hz | Tối đa 10 kHz (cách tùy chỉnh) |
| Sức mạnh trung bình | 5 - 300 W | Có thể mở rộng quy mô tùy chỉnh |
| Kích thước chùm (đi ra) | 10 × 10 mm | Đường vạch hình chữ nhật lên đến 50×50 mm (cách tùy chỉnh) |
| Sự đồng nhất của chùm | < ± 3% (σ) | < ± 1% (công cụ quang học tùy chỉnh) |
| Tích hợp dây chuyền sản xuất | SMEMA / SECS / GEM | Giao thức PLC tùy chỉnh (cách tùy chỉnh) |
Chúng tôi đề nghịtùy chỉnh đầy đủcủa lựa chọn bước sóng, năng lượng xung, kích thước trường quét, hỗn hợp khí, phương pháp làm mát (không khí / nước / máy làm mát) và giao thức liên lạc dây chuyền sản xuất.Các cánh tay truyền tia tùy chỉnh và vỏ lớp 1 cũng có sẵn theo yêu cầu.
Người liên hệ: Mr. Zhang guoxin
Tel: +86 13926890692
Fax: 86-769-88120350
Vietnamese
