 
|
Hệ thống xử lý Laser Excimer công nghiệp | Tích hợp dây chuyền sản xuất linh hoạt và các thông số có thể tùy chỉnh hoàn toàn
Thông tin chi tiết sản phẩm:
| Nguồn gốc: | Trung Quốc |
| Hàng hiệu: | OSMANUV |
| Chứng nhận: | ISO9001 |
| Số mô hình: | Đặc điểm kỹ thuật |
Thanh toán:
| Số lượng đặt hàng tối thiểu: | 1 bộ |
|---|---|
| Giá bán: | Có thể thương lượng |
| chi tiết đóng gói: | Bao bì gỗ |
| Thời gian giao hàng: | 30-45 ngày |
| Điều khoản thanh toán: | T/T |
| Khả năng cung cấp: | đàm phán |
|
Thông tin chi tiết |
|||
| Điện áp: | 220V/380V | Tốc độ băng tải: | 25 ~ 80m/phút |
|---|---|---|---|
| Công suất động cơ chính: | 1,5kw | Chiều rộng san lấp mặt bằng hiệu quả: | 920mm |
| Vật liệu phủ: | Vật liệu khác nhau | loại đèn UV: | Đèn thủy ngân |
| Tua lại lỗi gấp: | ± 0,1mm | Loại sấy: | Sấy hồng ngoại |
Mô tả sản phẩm
Hệ thống xử lý laser Excimer công nghiệp
Tích hợp dây chuyền sản xuất linh hoạt và các thông số có thể tùy chỉnh hoàn toàn
Tổng quan sản phẩm
Hệ thống xử lý laser excimer công nghiệp này được thiết kế để chế tạo vi mô chính xác cao, ủ bán dẫn và tạo mẫu màng mỏng.Nó hỗ trợ tích hợp đầy đủ vào dây chuyền sản xuất tự động với giám sát thời gian thựcHệ thống có nguồn excimer kín khí với quang học tuổi thọ dài và điều khiển quy trình được hỗ trợ bởi AI.
Thành phần của dây chuyền sản xuất
- Đơn vị nguồn laser Excimer
- Mô-đun định hình và đồng hóa chùm
- Giai đoạn quét XY tốc độ cao hoặc đơn vị chiếu mặt nạ
- Robot xử lý chất nền trực tuyến (nhiều chiều rộng đường ray có thể tùy chỉnh)
- Hệ thống quản lý khí thải và khí thải
- PC điều khiển quy trình với trình quản lý công thức
Các thông số kỹ thuật
| Parameter | Phạm vi giá trị (Tiêu chuẩn) | Tùy chọn tùy chỉnh |
|---|---|---|
| Độ dài sóng | 193 nm / 248 nm / 308 nm | Có thể chuyển đổi nhiều bước sóng (cách tùy chỉnh) |
| Năng lượng xung tối đa | 0.5 - 1200 mJ | Tối đa 2000 mJ (cách chỉnh) |
| Tần số xung | 1 - 6000 Hz | Tối đa 10 kHz (cách tùy chỉnh) |
| Sức mạnh trung bình | 5 - 300 W | Có thể mở rộng quy mô tùy chỉnh |
| Kích thước chùm (đi ra) | 10 × 10 mm | Đường vạch hình chữ nhật lên đến 50×50 mm (cách tùy chỉnh) |
| Sự đồng nhất của chùm | < ± 3% (σ) | < ± 1% (công cụ quang học tùy chỉnh) |
| Tích hợp dây chuyền sản xuất | SMEMA / SECS / GEM | Giao thức PLC tùy chỉnh (cách tùy chỉnh) |
Ứng dụng
- Sơn kim loại silicon cho màn hình tiên tiến (LTPS)
- MEMS & cắt wafer bán dẫn
- Chức năng hoạt hóa bề mặt polyme
- Xây dựng vi mô thiết bị y tế
- Khoan PCB linh hoạt
Tùy chọn tùy chỉnh
Chúng tôi đề nghịtùy chỉnh đầy đủcủa lựa chọn bước sóng, năng lượng xung, kích thước trường quét, hỗn hợp khí, phương pháp làm mát (không khí / nước / máy làm mát) và giao thức liên lạc dây chuyền sản xuất.Các cánh tay truyền tia tùy chỉnh và vỏ lớp 1 cũng có sẵn theo yêu cầu.
Các đặc điểm chính
- > 2000 giờ tuổi thọ khí (trộn khí tối ưu hóa)
- Thiết lập ổn định năng lượng (động thái phản hồi thời gian thực)
- Chẩn đoán từ xa & bảo trì dự đoán
- Chi phí sở hữu thấp (LOO) với chế độ tiết kiệm khí bỏ qua
- Thiết kế mô-đun nhỏ gọn để cấu hình lại đường dây nhanh
Hỗ trợ và Dịch vụ
- Hỗ trợ kỹ thuật 24/7 (điện thoại / từ xa)
- Lắp đặt tại chỗ và tích hợp dây chuyền sản xuất
- Đào tạo tùy chỉnh cho các kỹ sư của bạn
- Bảo hành mở rộng lên đến 5 năm
- Chương trình bổ sung khí và cải tạo quang học
Bao bì và vận chuyển
- Được niêm phong trong thùng chứa có độ ẩm kiểm soát, chống sốc
- Hộp quang kín chân không
- Vận chuyển bằng đường hàng không hoặc đường biển với theo dõi thời gian thực
- Các thùng xuất khẩu đáp ứng tiêu chuẩn ISPM-15
Câu hỏi thường gặp
Q1: Bạn có thể tùy chỉnh kích thước đầu laser cho một dây chuyền sản xuất nhỏ gọn?
Vâng, đầu laser và đường truyền chùm làhoàn toàn tùy chỉnhđể phù hợp với không gian đường hẹp hoặc hình dạng kỳ lạ.
Q2: Thời gian dẫn đầu cho một hệ thống tùy chỉnh là bao nhiêu?
Tiêu chuẩn: 8-10 tuần; tùy chỉnh: 12-14 tuần bao gồm xác nhận thiết kế.
Q3: Bạn có hỗ trợ tích hợp với MES hiện có không?
Vâng, chúng tôi cung cấptùy chỉnh SECS/GEM, OPC-UA, hoặc Modbusgiao diện.
Muốn biết thêm chi tiết về sản phẩm này
