Công nghiệp một trạm SPIN COATER với ± 1% đồng nhất ATAKLERATION & DISPENSE CONTROL tùy chỉnh

MÁY PHỦ XOAY CÔNG NGHIỆP ĐƠN TRẠM VỚI ĐỘ ĐỒNG ĐỀU ±1% – ĐIỀU KHIỂN TĂNG TỐC & PHÂN PHỐI TÙY CHỈNH

Mô tả sản phẩm

Máy phủ xoay đơn trạm này được thiết kế để lắng đọng chính xác và đồng đều lớp cản quang, polymer, vật liệu sol-gel, hạt nano và các chất lỏng chức năng khác lên các đế có kích thước từ mảnh nhỏ đến wafer 8 inch. Hệ thống sử dụng động cơ DC không chổi than có độ ổn định cao với các cấu hình tốc độ và gia tốc có thể lập trình, đảm bảo kết quả phủ màng mỏng có thể lặp lại. Lý tưởng cho nghiên cứu và phát triển bán dẫn, chế tạo MEMS, pin mặt trời perovskite và các ứng dụng phủ quang học. Hệ thống có thể tùy chỉnh hoàn toàn về kích thước mâm cặp, vật liệu bát, thông số kỹ thuật động cơ và các mô-đun gia nhiệt hoặc xử lý UV tùy chọn.

Thành phần dây chuyền sản xuất

1. Đơn vị chính máy phủ xoay (thiết kế bát đơn)

2. Mâm cặp chân không kèm bộ chuyển đổi đế

3. Bộ điều khiển kỹ thuật số có thể lập trình (Màn hình cảm ứng HMI)

4. Bơm chân không không dầu (≥60 L/phút)

5. Hệ thống phân phối tự động hoặc thủ công (xi lanh/vòi phun)

6. Lắp ráp cổng thoát khí & thoát nước

7. Đầu vào khí Nitơ để bảo vệ phớt động cơ

8. Tùy chọn: Tích hợp mâm nhiệt / Mô-đun xử lý UV

Thông số kỹ thuật

Ứng dụng

• Bán dẫn & MEMS– Phủ lớp cản quang cho thạch bản

• Pin mặt trời Perovskite & Hữu cơ– Lắng đọng màng mỏng

• Lớp phủ quang học– Lớp chống phản xạ và màng lọc

• Thiết bị y sinh– Polymer sinh học 

• Vật liệu Graphene & 2D– Phủ phân tán đồng đều

• OLED & Chấm lượng tử– Lắng đọng lớp phát xạ

• Phủ kính & gốm– Lớp Sol-gel và lớp bảo vệ

Tùy chỉnh

Chúng tôi cung cấp tùy chỉnh hoàn toàn bao gồm:

• Kích thước và hình dạng mâm cặp chân không (tròn / vuông / mảnh, từ 3mm đến 450mm)

• Vật liệu bát: PTFE, Teflon®, thép không gỉ hoặc nhôm chống ăn mòn hóa học

• Nâng cấp động cơ: Động cơ Servo với độ chính xác cao hơn và phạm vi tốc độ mở rộng

• Mô-đun tích hợp: Mâm nhiệt (lên đến 300°C), xử lý UV (LED 365nm/395nm)

• Hệ thống phân phối tự động: Bơm xi lanh hoặc vòi phun có thể lập trình

• Hệ thống thoát khí: Hút khí hóa chất chủ động với bộ lọc HEPA

• Phần mềm: Quản lý công thức tùy chỉnh, ghi nhật ký dữ liệu và điều khiển từ xa

• Nhiều bát để thay đổi vật liệu nhanh chóng mà không gây nhiễm chéo

Tính năng

• Độ đồng đều độ dày màng ±1% trên toàn bộ đế

• Gia tốc tức thời lên đến 30.000 vòng/phút/giây cho cấu hình phủ sắc nét

• PLC màn hình cảm ứng với hiển thị tốc độ & thời gian theo thời gian thực

• Khóa liên động chân không – tự động dừng nếu chân không giảm xuống dưới ngưỡng

• Thiết kế bát chống nhỏ giọt và chống bắn tóe

• Khí Nitơ kéo dài tuổi thọ động cơ và bảo vệ lớp phủ nhạy cảm

• Thiết kế nhỏ gọn để bàn tiết kiệm không gian phòng thí nghiệm

• Cấu tạo chống tĩnh điện cho vật liệu điện tử nhạy cảm

Hỗ trợ và Dịch vụ

• Kiểm tra mẫu phủ miễn phí với báo cáo độ đồng đều chi tiết

• Lắp đặt tại chỗ & đào tạo người vận hành (tùy chọn)

• Bảo hành 24 tháng cho động cơ và bộ điều khiển

• Hỗ trợ kỹ thuật từ xa trọn đời qua cuộc gọi video / email

• Bộ phụ tùng thay thế đi kèm (phớt chân không, vòng đệm O-ring, cầu chì)

• Chế tạo mâm cặp tùy chỉnh cho đế không tiêu chuẩn

Đóng gói và Vận chuyển

• Đóng gói:Bọt chống tĩnh điện + túi hút chân không + thùng gỗ dán xuất khẩu gia cố

• Vận chuyển:FOB Thượng Hải / Thâm Quyến / Quảng Châu

• Thời gian giao hàng:10 – 25 ngày làm việc (tùy thuộc vào mức độ tùy chỉnh)

• Phương thức vận chuyển:Vận chuyển hàng không (cho các đơn vị nhỏ), vận chuyển đường biển (cho các hệ thống công nghiệp), chuyển phát nhanh (DHL/FedEx)

Câu hỏi thường gặp

Q1: Bạn có thể tùy chỉnh mâm cặp cho đế vuông không tiêu chuẩn (100mm x 100mm) không?
A: Có. Chúng tôi tùy chỉnh hoàn toànbất kỳ hình dạng và kích thước mâm cặp nào, bao gồm hình vuông, hình chữ nhật và các mảnh không đều có kích thước lên đến 450mm.

Q2: Độ dày phủ tối thiểu và tối đa có thể đạt được là bao nhiêu?
A: Thông thường từ 0,1μm đến 200μm tùy thuộc vào độ nhớt của vật liệu và tốc độ xoay. Chúng tôi có thể tùy chỉnh các cấu hình xoay để tối ưu hóa độ dày cho vật liệu phủ cụ thể của bạn.

Q3: Máy phủ xoay này có hoạt động với các vật liệu có độ nhớt cao như lớp cản quang dày không?
A: Có. Tùy chọn động cơ Servo cung cấp mô-men xoắn cao hơn cho các vật liệu dày. Chúng tôi cũng có thể tùy chỉnh vòi phun phân phối và độ trễ trước khi xoay.