 
|
Máy tráng phủ quay tự động hoàn toàn 24 trạm với tốc độ phân phối & quay tùy chỉnh cho độ đồng nhất cao và không nhiễm bẩn chéo
Thông tin chi tiết sản phẩm:
| Nguồn gốc: | Trung Quốc |
| Hàng hiệu: | OSMANUV |
| Chứng nhận: | ISO9001 |
| Số mô hình: | Đặc điểm kỹ thuật |
Thanh toán:
| Số lượng đặt hàng tối thiểu: | 1 bộ |
|---|---|
| Giá bán: | Có thể thương lượng |
| chi tiết đóng gói: | Bao bì gỗ |
| Thời gian giao hàng: | 30 ngày |
| Khả năng cung cấp: | đàm phán |
|
Thông tin chi tiết |
|||
| Độ bền lớp phủ: | Độ bền cao | Nguồn sáng: | Ir ánh sáng |
|---|---|---|---|
| Cách sử dụng: | Máy in giấy Máy in nhãn Máy in thẻ | độ dày lớp phủ: | có thể điều chỉnh |
| Người mẫu: | OSM-XT-450T | Năng lực sản xuất: | 4800pcs/8h |
| điểm bán hàng chính: | Lớp phủ đúc bột | Công suất làm việc: | 2,4kw |
| Làm nổi bật: | Máy trượt hoàn toàn tự động,Máy phủ bột giấy 24 trạm,Máy trượt trượt có thể tùy chỉnh |
||
Mô tả sản phẩm
Bộ vi xử lý tự động 24 vòng để nghiên cứu và phát triển đến sản xuất
Cái này.Máy phủ vòng quay 24 trạmđược thiết kế cho tự động, cao thông lượng mỏng-phần lắng đọng. mỗi trong 24 vị trí phủ độc lập có thể được tải với nền lên đến 200 mm đường kính (hoặc 156 × 156 mm vuông).Hệ thống liên tục hoàn thành phân phối, gia tốc, xoay-giữ, và các bước loại bỏ cạnh hạt thông qua mộtCơ sở dữ liệu công thức tùy chỉnh.
Ưu điểm chính
- Không nhiễm trùng chéo- mỗi bể và ống xả cho mỗi trạm
- Đồng nhất cao< ± 3% ở 3000 vòng/phút trên tất cả các trạm
- Tùy chỉnh đầy đủ- vật liệu nền (Si, thủy tinh, polymer, kim loại), thanh lọc khí (N2, không khí khô sạch) và các bước rửa sau khi quay
Các thông số kỹ thuật
| Parameter | Giá trị chuẩn | Phạm vi tùy chỉnh |
|---|---|---|
| Số trạm | 24 | 12 / 16 / 24 / 32 (có thể tùy chỉnh) |
| Kích thước nền tối đa | đường kính 200 mm hoặc 156 × 156 mm vuông | 50 - 300 mm (chuck tùy chỉnh) |
| Phạm vi tốc độ quay | 0 - 6000 vòng/phút | 0 - 10000 vòng/phút |
| Độ chính xác tốc độ | ±1 vòng/phút | -- |
| Tốc độ quay | 200 - 10000 vòng/giây | có thể tùy chỉnh lên đến 20000 rpm/s |
| Đồng nhất lớp phủ | < ± 3% @ 3000 vòng/phút | ± 2% có sẵn |
| Khí quá trình | 1 kênh (N2) | 2 - 4 kênh khí (có thể tùy chỉnh) |
| Các loại giao dịch | Chế độ tĩnh / động | Tối đa 3 bước phân phối mỗi công thức |
| Dòng chảy khí thải cho mỗi trạm | 45 m3/h | 30 - 80 m3/h (có thể tùy chỉnh) |
| Môi trường | Phù hợp với phòng sạch lớp 10 | Tùy chọn lớp 1 |
| Nguồn cung cấp điện | 400V / 50 Hz / 3P | 208V - 480V (có thể tùy chỉnh) |
| Kích thước máy (W × D × H) | 2100 × 1200 × 1900 mm | chiều rộng/thần sâucó thể tùy chỉnh |
Tích hợp dây chuyền sản xuất
Khi được tích hợp vào một đường sơn, bộ sơn quay 24 trạm thường hoạt động với:
- Loader / unloader(tạp chí-to-magazine hoặc cassette-to-cassette) -giao diện tùy chỉnh
- Trạm sắp xếp trước- tùy chọn sắp xếp cạnh / notch
- Máy phủ vòng quay 24 trạm- Đơn vị chính
- Máy loại bỏ hạt cạnh (EBR)- trạm tích hợp hoặc riêng biệt
- Bàn nướng sau lớp phủ- Hotplate hoặc IR (có thể lập trình)
- Trạm làm mát- hoạt động hoặc thụ động
- Hệ thống phân phối hóa chất trung tâm- 1-12 chai với tự động nạp
- Hệ thống phục hồi khí thải và dung môi- có thể tùy chỉnh cho photoresist, PI, PMMA, vv
Ứng dụng
- Máy bán dẫn- lớp phủ chống ánh sáng (i-line, KrF, ArF)
- Các pin mặt trời perovskite- Lưu trữ đồng bộ trên diện tích lớn
- OLED / QLED- lớp phun lỗ / lớp vận chuyển
- MEMS & microfluidics- SU-8, PDMS, lớp phủ polymer
- R & D & tuyến thí điểm- phát triển quá trình đa chất nền
- Các chất nền thủy tinh / sapphire / gốm sứ- bề mặt phẳng
- Pin lithium- lớp phủ bùn trên bộ tách hoặc điện cực
Tùy chọn tùy chỉnh
Cái này.24 trạm spin coater là rất tùy chỉnhtrong các khía cạnh sau:
- Kích thước và hình dạng của chất nền- tròn, vuông, hình chữ nhật, hoặc cắt tùy chỉnh
- Thiết kế Chuck- chân không, kẹp cơ học hoặc chuck điện tĩnh
- Vật liệu chén- PP, PVDF, PTFE hoặc thép không gỉ (đối với các dung môi hung hăng)
- Các vòi phun- tối đa 3 vòi độc lập cho mỗi trạm,chuyển động XY tùy chỉnh
- Khí quá trình- N2, không khí khô sạch, Ar, hoặc tạo thành khí
- Rửa mặt sau và loại bỏ hạt cạnh- có thể lập trình
- Thư viện công thức- Không giới hạn lưu trữ cho 1000+ công thức tùy chỉnh
- Giao diện- SMEMA, SECS/GEM, OPC-UA, hoặc Modbus TCP
- An toàn- cấu hình chống nổ cho các dung môi dễ cháy
Các đặc điểm chính
- Kiểm tra trạm độc lập- mỗi trạm theo dõi xu hướng độ dày phim và lịch sử báo động
- Khóa nắp hoạt động- ngăn chặn hoạt động khi nắp bát mở
- Máy bắt giọt dung môi- giảm tần suất bảo trì
- Tải nhanh công thức- < 1 giây để thay đổi tất cả 24 trạm
- Ghi dữ liệu- CSV xuất khẩu mỗi trạm (tốc độ quay so với thời gian)
- Thiết kế rung động thấp- < 0,5 μm/s2 ở tốc độ tối đa
- Chế độ tiết kiệm năng lượng- tốc độ xả tự động giảm khi chạy không
Hỗ trợ và Dịch vụ
- Hướng dẫn cài đặt từ xa- bao gồm thiết lập video call
- Hỗ trợ kỹ thuật 24/7- Đội kỹ sư phục vụ (tiếng Anh/Tiếng Trung)
- Đào tạo tại chỗ- tùy chọn (3 ngày)
- Bảo hành 12 tháng- có thể gia hạn đến 36 tháng
- Tính sẵn có các phụ tùng thay thế- 5 năm đảm bảo
- Hỗ trợ phát triển quy trình- tối ưu hóa công thức miễn phí cho tài liệu của bạn
Bao bì và vận chuyển
| Điểm | Phương pháp |
|---|---|
| Bao bì | Chất hút bụi + bọt chống tĩnh + thùng gỗ dán (bảo vệ chống ăn mòn VCI) |
| Thời gian vận chuyển | FOB / CIF / DDP (chọn tại báo giá) |
| Thời gian dẫn đầu | 45 - 60 ngày làm việc (được tùy chỉnh: +15 ngày) |
| Giao thông vận tải | container 40' HC (1 đơn vị mỗi container) hoặc vận chuyển hàng không cho đơn đặt hàng khẩn cấp |
| Tài liệu | Hóa đơn thương mại, danh sách đóng gói, khai báo CE, hướng dẫn vận hành (điện tử + in) |
Câu hỏi thường gặp
Q1: Có thể phủ lớp nền khác nhau cùng một lúc trên các trạm khác nhau không?
A: Vâng, mỗi trạm hoạt động độc lập. Ví dụ, trạm 1-6 có thể phủ các wafer 4 inch, trong khi trạm 7-12 phủ các wafer 6 inch --hoàn toàn tùy chỉnh.
Q2: Máy hỗ trợ các vật liệu độ nhớt cao (> 1000 cP)?
A: Vâng, chúng tôi cung cấpcó thể tùy chỉnhĐộng cơ xoay chậm và mô-men xoắn lớn (lên đến 1,5 N * m) cho photoresist hoặc polyimide dày.
Q3: Phải mất bao lâu để chuyển từ một photoresist sang một photoresist khác?
A: Với tùy chọnthiết kế chén làm sạch nhanh có thể tùy chỉnh, thay đổi < 10 phút mỗi trạm.
Muốn biết thêm chi tiết về sản phẩm này
